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光学气浮平台

来源:www.67777.com作者:大理石平台发布时间:2020-06-02 09:13:21

品牌:www.67777.com

精 度:0级 、00级 、000 级

特 性:精度高、耐酸碱、稳定性好

是否定制:现货/定制

联系电话:0755-2330 1799

光学气浮平台

光学气浮平台产品详情

  
应用领域:
 
适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用
 
产品特点:
 
■www.67777.com依托于光电子产业科研工作人员,研发制造的一款通用性隔振光学平台,能够满足精密负载对振动隔离需求,且面向大多数设备仪器提供通用化隔振解决方案,改善振动环境,以发挥设备仪器的最佳效能。
 
■优异的隔振性能:内置精密空气弹簧隔振系统,具备优秀的固有频率,对多个方向的振动尤其是垂直方向有着良好衰减效果,避免外界振动干扰设备仪器精度,提高仪器设备使用精度和使用效率。
 
■自动调节水平功能:放置负载的位置发生变化,平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压,自动保持水平。气动元器件全部执行德国FESTO产品标准,标配优质超静音压缩机。
 
■台板采用蜂窝芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点,上面板为1cr17优质高导磁不锈钢,经精密研磨处理,平面度高,回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射、亚光效果,面板具有M6螺孔阵列,易于固定光学元件。
 
■隔振支撑为优质钢管焊接而成,整体坚固可靠。
 
■工作压力为0.35~0.6Mpa,标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作,用户只需要将气管连接进气口,就能使装置正常发挥隔振功能,气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给,便于在安静场合使用。
 
技术指标:
 
■平面度:< 0.05mm/m2
 
■表面粗糙度:< 0.8μm
■固有频率;x方向:1.0Hz~1.5Hz  y方向:1.0Hz~1.5Hz
 
■减振效率:x方向<5Hz时:88%~94%    y方向<5Hz时:86%~92%
 
                 x方向<10Hz时:92%~98%  y方向<10Hz时:90%~95%
 
■台面内部支撑:纯蜂窝杯内芯支撑结构,粘接工艺,无焊接应力; 
 
■蜂窝杯状芯板:内部蜂窝状芯板采用的是不锈钢 、铝板,镀锌板等防 腐材料,内芯密度≥250kg/m³; 
 
■振幅:< 1μm
 
■荷载能力:500kg/m2
 
■重复定位精度:±0.05mm
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